337605
Ионно-лучевой синтез тонких пленок в неметаллах : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07
1998, Казань
Физика. Диссертация Ионно-лучевой синтез тонких пленок в неметаллах : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07, Казань, 1998