352073
Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.04
2000, Санкт-Петербург
Физическая химия. Диссертация Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.04, Санкт-Петербург, 2000