352419 Моделирование кинетических параметров плазмы магнетронного разряда в аргоне и дейтерии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 02.00.04 Обручников, Александр Евгеньевич 2000, Иваново

Физическая химия. Диссертация Моделирование кинетических параметров плазмы магнетронного разряда в аргоне и дейтерии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 02.00.04, Иваново, 2000