353003 Физико-химические закономерности трансформации микродефектов в кремнии при ионном облучении, воздействии ультразвуком и термообработках : диссертация ... кандидата технических наук : 02.00.04 Левшунова, Валерия Львовна 2003, Нижний Новгород

Физическая химия. Диссертация Физико-химические закономерности трансформации микродефектов в кремнии при ионном облучении, воздействии ультразвуком и термообработках : диссертация ... кандидата технических наук : 02.00.04, Нижний Новгород, 2003