59393 Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.04 Дунаев, Александр Валерьевич 2011, Иваново

Физическая химия. Диссертация Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.04, Иваново, 2011