60068 Кинетические закономерности взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы смесей HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 с арсенидом галлия : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.04 Капинос, Сергей Павлович 2012, Иваново

Физическая химия. Диссертация Кинетические закономерности взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы смесей HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 с арсенидом галлия : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.04, Иваново, 2012