Физическая химия. Диссертация Плазмохимический синтез тонких слоев карбонитрида кремния из паров кремнийорганических соединений : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.04 / Ермакова Евгения Николаевна; [Место защиты: Ин-т неорган. химии им. А.В. Николаева СО РАН], Новосибирск, 2014