51727 Влияние природы полимерной матрицы, фоточувствительного генератора кислоты и физических факторов на литографические свойства химически усиленных фоторезистов : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.06 Джонс, Михаил Михайлович 2012, Нижний Новгород

Высокомолекулярные соединения. Диссертация Влияние природы полимерной матрицы, фоточувствительного генератора кислоты и физических факторов на литографические свойства химически усиленных фоторезистов : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.06, Нижний Новгород, 2012