61197 Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.08 Шатунов, Валерий Владимирович 2011, Москва

Химия элементоорганических соединений. Диссертация Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.08, Москва, 2011