61197
Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.08 Шатунов, Валерий Владимирович
2011, Москва
Химия элементоорганических соединений. Диссертация Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.08, Москва, 2011