353623 Радиационно-термическое окисление монокристаллического кремния : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.09 Соловейчик, Алексей Валерьевич 2003, Санкт-Петербург

Химия высоких энергий. Диссертация Радиационно-термическое окисление монокристаллического кремния : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.09, Санкт-Петербург, 2003