60337 Синтез эпитаксиальных слоев в системе GaN/AlGaN методом хлоридгидридной газофазной эпитаксии и формирование гетероструктур на их основе : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.21 Фомин, Александр Владимирович 2005, Санкт-Петербург

Химия твердого тела. Диссертация Синтез эпитаксиальных слоев в системе GaN/AlGaN методом хлоридгидридной газофазной эпитаксии и формирование гетероструктур на их основе : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.21, Санкт-Петербург, 2005