790727 Атомно-слоевое осаждение металлических и многокомпонентных диэлектрических слоев для микроэлектронных структур Маркеев Андрей Михайлович 2020, Санкт-Петербург

Химия твердого тела. Диссертация Атомно-слоевое осаждение металлических и многокомпонентных диэлектрических слоев для микроэлектронных структур, Санкт-Петербург, 2020