53010 Разработка и исследование метода синтеза трихлорсилана по реакции гидрирования тетрахлорида кремния в водородной плазме : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.01 Корнев, Роман Алексеевич 2007, Нижний Новгород

Неорганическая химия. Диссертация Разработка и исследование метода синтеза трихлорсилана по реакции гидрирования тетрахлорида кремния в водородной плазме : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.01, Нижний Новгород, 2007