601486 Лазерное осаждение пленок нитридов бора и углерода из газовой фазы :диссертация ... кандидата физико-математических наук Угаров, Михаил Владимирович ,

Общее. Диссертация Лазерное осаждение пленок нитридов бора и углерода из газовой фазы :диссертация ... кандидата физико-математических наук, ,