632313 Термическое окисление кремния в электрическом поле :диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.01 Малевская, Людмила Анатольевна ,

Общее. Диссертация Термическое окисление кремния в электрическом поле :диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.01, ,