28725
Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.07
2013, Томск
Физика. Диссертация Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.07, Томск, 2013