28763
Дефектообразование и рекристаллизация в пленках кремния на сапфире при ионном облучении : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.20 Шемухин, Андрей Александрович
2013, Москва
Физика. Диссертация Дефектообразование и рекристаллизация в пленках кремния на сапфире при ионном облучении : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.20, Москва, 2013