29079 Моделирование формирования структур осаждаемых пленок и образования пыли в плазменных установках : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 Нагель, Михаил Юрьевич 2013, Москва

Физика. Диссертация Моделирование формирования структур осаждаемых пленок и образования пыли в плазменных установках : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04, Москва, 2013