336425 Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 01.04.04 Филачев, Анатолий Михайлович 1997, Москва

Физика. Диссертация Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 01.04.04, Москва, 1997