337441 Примеси и собственные дефекты в карбиде кремния в связи с условиями роста, легирования и релаксационного отжига : диссертация ... доктора физико-математических наук в форме науч. докл. : 01.04.10 Мохов, Евгений Николаевич 1998, Санкт-Петербург

Физика. Диссертация Примеси и собственные дефекты в карбиде кремния в связи с условиями роста, легирования и релаксационного отжига : диссертация ... доктора физико-математических наук в форме науч. докл. : 01.04.10, Санкт-Петербург, 1998