337800 Электронная микроскопия полупроводников с учетом реальных закономерностей освещения образца и рассеяния электронов : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10 Боргардт, Николай Иванович 1999, Москва

Физика. Диссертация Электронная микроскопия полупроводников с учетом реальных закономерностей освещения образца и рассеяния электронов : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10, Москва, 1999