338013
Ионный имплантер на средние энергии для технологических целей : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.20
1999, Новосибирск
Физика. Диссертация Ионный имплантер на средние энергии для технологических целей : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.20, Новосибирск, 1999