339079
Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (∼10 кэВ/а. е. м. ) и высоких (>1 МэВ/а. е. м. ) энергий, при отжигах до 1050°С. : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
2000, Якутск
Физика. Диссертация Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (∼10 кэВ/а. е. м. ) и высоких (>1 МэВ/а. е. м. ) энергий, при отжигах до 1050°С. : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10, Якутск, 2000