339918 Механизм и условия формирования скрытых слоев монокристаллической фазы дисилицида кобальта в кремнии в процессе ионно-лучевого синтеза : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Боженов, Александр Вячеславович 2001, Москва

Физика. Диссертация Механизм и условия формирования скрытых слоев монокристаллической фазы дисилицида кобальта в кремнии в процессе ионно-лучевого синтеза : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10, Москва, 2001