339918
Механизм и условия формирования скрытых слоев монокристаллической фазы дисилицида кобальта в кремнии в процессе ионно-лучевого синтеза : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Боженов, Александр Вячеславович
2001, Москва
Физика. Диссертация Механизм и условия формирования скрытых слоев монокристаллической фазы дисилицида кобальта в кремнии в процессе ионно-лучевого синтеза : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10, Москва, 2001