340156
Структурная модификация плёнок кремния в процессе роста и легирования : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07
2001, Нижний Новгород
Физика. Диссертация Структурная модификация плёнок кремния в процессе роста и легирования : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07, Нижний Новгород, 2001