340312 Методика нанооксидирования и травления поверхности n-InGaAs с помощью атомно-силового микроскопа : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.01 Соколов, Дмитрий Васильевич 2001, Санкт-Петербург

Физика. Диссертация Методика нанооксидирования и травления поверхности n-InGaAs с помощью атомно-силового микроскопа : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.01, Санкт-Петербург, 2001