340518
Ионно-плазменное осаждение пленок a-C: H и их свойства : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
2002, Махачкала
Физика. Диссертация Ионно-плазменное осаждение пленок a-C: H и их свойства : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07, Махачкала, 2002