340567 Молекулярно-лучевая эпитаксия кремния, стимулированная ионным облучением : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07 Шенгуров, Владимир Геннадьевич 2002, Нижний Новгород

Физика. Диссертация Молекулярно-лучевая эпитаксия кремния, стимулированная ионным облучением : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07, Нижний Новгород, 2002