340773 Получение и свойства ультратонких пленок аморфного кремния и многослойных периодических наноструктур на их основе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Казанцева, Инга Александровна 2002, Нижний Новгород

Физика. Диссертация Получение и свойства ультратонких пленок аморфного кремния и многослойных периодических наноструктур на их основе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10, Нижний Новгород, 2002