340773
Получение и свойства ультратонких пленок аморфного кремния и многослойных периодических наноструктур на их основе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Казанцева, Инга Александровна
2002, Нижний Новгород
Физика. Диссертация Получение и свойства ультратонких пленок аморфного кремния и многослойных периодических наноструктур на их основе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10, Нижний Новгород, 2002