341299
Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08
2003, Омск
Физика. Диссертация Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08, Омск, 2003