341532 Получение твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x методом магнетронного распыления и исследование их свойств : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Гусейнов, Марат Керимханович 2004, Махачкала

Физика. Диссертация Получение твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x методом магнетронного распыления и исследование их свойств : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10, Махачкала, 2004