341723
Формирование оптического микрорельефа на диоксиде кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.01 Колпаков, Всеволод Анатольевич
2004, Самара
Физика. Диссертация Формирование оптического микрорельефа на диоксиде кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.01, Самара, 2004