341750
Формирование нарушенных слоев в кристаллах кремния, имплантированных протонами : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
2004, Москва
Физика. Диссертация Формирование нарушенных слоев в кристаллах кремния, имплантированных протонами : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07, Москва, 2004