341880
Исследование физических процессов ионного отщепления ("SMART-CUT") оптическими методами : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 Бударагин, Владимир Владимирович
2004, Москва
Физика. Диссертация Исследование физических процессов ионного отщепления ("SMART-CUT") оптическими методами : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07, Москва, 2004