341880 Исследование физических процессов ионного отщепления ("SMART-CUT") оптическими методами : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 Бударагин, Владимир Владимирович 2004, Москва

Физика. Диссертация Исследование физических процессов ионного отщепления ("SMART-CUT") оптическими методами : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07, Москва, 2004