42180
Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04
2005, Долгопрудный
Физика. Диссертация Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04, Долгопрудный, 2005