Физика. Диссертация Электрофизические свойства нетрадиционных диэлектрических слоев (ионно синтезированный SiO2 и HfO2, ZrO2, Al2O3) на поверхности кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10, Санкт-Петербург, 2005