42915
Радиационно-стимулированное формирование нитрида кремния в кремнии при последовательном облучении встречными пучками ионов азота и аргона : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Сдобняков, Виктор Владимирович
2006, Нижний Новгород
Физика. Диссертация Радиационно-стимулированное формирование нитрида кремния в кремнии при последовательном облучении встречными пучками ионов азота и аргона : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10, Нижний Новгород, 2006