43267
Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5 нм : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.01
2006, Нижний Новгород
Физика. Диссертация Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5 нм : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.01, Нижний Новгород, 2006