43597 Влияние неоднородности толщины диэлектрика на свойства туннельных МОП структур Al/(1-4 нм)SiO2/Si : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Тягинов, Станислав Эдуардович 2006, Санкт-Петербург

Физика. Диссертация Влияние неоднородности толщины диэлектрика на свойства туннельных МОП структур Al/(1-4 нм)SiO2/Si : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10, Санкт-Петербург, 2006