43836 Поверхностные процессы при формировании плотных массивов и одиночных наноструктур германия и кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07 Шкляев, Александр Андреевич 2007, Новосибирск

Физика. Диссертация Поверхностные процессы при формировании плотных массивов и одиночных наноструктур германия и кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07, Новосибирск, 2007