43836
Поверхностные процессы при формировании плотных массивов и одиночных наноструктур германия и кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07 Шкляев, Александр Андреевич
2007, Новосибирск
Физика. Диссертация Поверхностные процессы при формировании плотных массивов и одиночных наноструктур германия и кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07, Новосибирск, 2007