44007
Моделирование процессов термического отжига и высокотемпературной карбонизации пористого кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Золотов, Андрей Викторович
2007, Ульяновск
Физика. Диссертация Моделирование процессов термического отжига и высокотемпературной карбонизации пористого кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10, Ульяновск, 2007