45027
Эффекты низкоэнергетического ионного воздействия при эпитаксии Ge на Si : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
2008, Новосибирск
Физика. Диссертация Эффекты низкоэнергетического ионного воздействия при эпитаксии Ge на Si : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10, Новосибирск, 2008