45109
Разработка приборов анализа и повышения степени чистоты поверхности диоксида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.01
2008, Самара
Физика. Диссертация Разработка приборов анализа и повышения степени чистоты поверхности диоксида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.01, Самара, 2008