45187 Численное моделирование роста поликристаллического кремния из хлоридных соединений : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 Бровин, Дмитрий Сергеевич 2008, Санкт-Петербург

Физика. Диссертация Численное моделирование роста поликристаллического кремния из хлоридных соединений : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07, Санкт-Петербург, 2008