45630 Особенности энерговклада в пространственно ограниченные ВЧ индуктивные источники плазмы низкого давления : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.08 Кралькина, Елена Александровна 2008, Москва

Физика. Диссертация Особенности энерговклада в пространственно ограниченные ВЧ индуктивные источники плазмы низкого давления : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.08, Москва, 2008