46570 Влияние микро- и наноструктурирования на оптические свойства кремниевых слоев : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Мамичев, Дмитрий Александрович 2009, Москва

Физика. Диссертация Влияние микро- и наноструктурирования на оптические свойства кремниевых слоев : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10, Москва, 2009