46915 Исследование процесса восстановления моноксида кремния в плазме дугового разряда : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08 Зайцев, Сергей Аркадьевич 2010, Москва

Физика. Диссертация Исследование процесса восстановления моноксида кремния в плазме дугового разряда : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08, Москва, 2010