47625 Влияние внешней цепи на закономерности энерговклада в гибридный ВЧ разряд низкого давления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08 Чжао Чэнь 2011, Москва

Физика. Диссертация Влияние внешней цепи на закономерности энерговклада в гибридный ВЧ разряд низкого давления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08, Москва, 2011