48030 Влияние импульсной фотонной обработки на процессы рекристаллизации пленок Au, Pt, Pd и оксидирования пленок Ti : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 Синельников, Александр Алексеевич 2011, Воронеж

Физика. Диссертация Влияние импульсной фотонной обработки на процессы рекристаллизации пленок Au, Pt, Pd и оксидирования пленок Ti : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07, Воронеж, 2011