48066 Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF2/CaF2/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике" : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.07 Филимонова, Нина Ивановна 2011, Новосибирск

Физика. Диссертация Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF2/CaF2/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике" : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.07, Новосибирск, 2011